AUTOAIM

Die herstellerunabhängige Software zur automatischen Aufnahme, Inspektion und Metrologie.

AUTOAIM ist eine Software zur automatischen Bildaufnahme und Datenauswertung mit einem klassischen oder konfokalen Mikroskop. Zusätzlich zu den allgemeinen Features bietet es unter anderem folgende Besonderheiten für die Halbleiterbranche: Wafermaps, Critical Dimensions und der Bedarf nach Automatisierung. Die Automatisierung kann schnell und ohne Programmieraufwand eingerichtet werden.

Mit AUTOAIM können Sie automatisch schnell und reproduzierbar Geometrien von Strukturen vermessen, zum Beispiel Durchmesser und Höhen von Vias, Längen von Langlöchern oder Versätze von Overlays. Die Algorithmen entwickeln wir selbst und können sie zum einen direkt an Ihre Vorgaben anpassen, zum anderen nutzen wir die physikalischen Eigenschaften der Messdaten voll aus und erreichen dadurch eine höhere Robustheit und Genauigkeit. Achten Sie beispielsweise darauf, wie stark ausgefranst der Kreis in dem Bild eines Trough-Silicon-Vias unten ist. Kein uns bekannter Algorithmus kann diese Strukturen sonst fitten.

AUTOAIM ist herstellerunabhängig und bereits kompatibel zu einer Vielzahl von Systemen. Fragen Sie uns einfach.

AUTOAIM Hauptmerkmale

  • Alle Arbeitsschritte in einem Programm: Hardware-Steuerung, Bildaufnahme und Auswertung.
  • Flexible und intuitive Automatisierung ohne programmieren zu müssen. Automatische Aufnahme und Auswertung.
  • Automatische 2D und 3D Geometrie-Vermessung für "Critical Dimensions" von Vias, Langlöchern, Overlays und vielen mehr. Kundenspezfische Muster sind möglich.
  • Zusätzliche Import- und Export-Filter für Ihre Dateiformate können von uns integriert werden (Wafermaps, Defektpositionslisten, Bildformate)
  • Automatische Oberflächen- und Profilcharakterisierung
  • Statistische Signifikanz durch eine beliebig hohe Zahl an Messungen. Da in unserer Software die automatische Auswertung gleich mit der Aufnahme erfolgt müssen die speicherplatzhungrigen Rohdaten nicht gespeichert werden.
  • Nutzer- und Rechteverwaltung
  • Software-Autofokus – beim Einsatz eines Konfokalmikroskops kann sogar auf perfekte Spiegel fokussiert werden.
  • Cleverer Hardware-Schutz um Crashs zwischen dem Objektiv und der Probe vorzubeugen.

AUTOAIM Highlights

  • Zeitsparend – schnelle und intuitive Automatisierung
  • Sicher – Adaptive Verfahrgrenzen zum Schutz Ihrer Hardware und Ihrer Proben
  • Reproduzierbar – Auswertung mit Mustererkennung

Angepasst an Ihre Bedürfnisse

Steigern Sie den Nutzen aus Ihrer neuen oder existierenden Hardware durch bessere, angepasste Software.

AUTOAIM unterstützt bereits eine Vielzahl von Mikroskopen und wir können zu nahezu jeder Hardware eine Schnittstelle hinzufügen, darunter motorisierte Tische, Wafer-Handler, usw.

Wir können kundenspezifische Mustererkennungsalgorithmen zur Vermessung besonderer Formen entwickeln.

Kundenspezifische Dateiformate können implementiert werden. Dadurch können Sie das Zusammenspiel Ihrer verschiedenen Messgeräte erhöhen.

Aufgebaut auf Erfahrung

AUTOAIM wurde in Kooperation mit dem Fraunhofer IZM entwickelt.

Komplettsysteme

Wenn Sie bestehende Mikroskope mit einer Kamera oder einem motorisierten Tisch aufrüsten möchten oder die Anschaffung eines komplett neuen Systems planen können Sie sich ebenfalls gern an uns wenden.